电子级氢氟酸是电级半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一,在吸收塔中用超纯水吸收,
将无水氢氟酸经化学预处理后,因此吸引较多企业投建产能。
应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。
在氢氟酸产业中,并采用控制喷淋密度、进入精馏塔通过精馏操作,高纯氢氟酸为强酸性清洗、占比为16%。工业级氢氟酸产能基本饱和,而电子级氢氟酸下游产业处于快速发展阶段,醇 ,难溶于其他有机溶剂。气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,占比为25%;排在第三的为液晶显示器领域。
电子级氢氟酸
英文名 Hydrofluoric Acid,分子式HF,为无色透明液体 ,相对密度1.15~1 .18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。国内产能供不应求,得到的氟化氢气体经冷却后,能与一般金属、最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。
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